Une pompe à vide à pression négative fonctionne en extrayant mécaniquement ou physiquement les molécules de gaz d'un espace scellé, créant ainsi un environnement de pression négative inférieur à la pression atmosphérique dans la chambre de la pompe. Son principe de base est la rotation à grande vitesse ou le mouvement alternatif de pièces mobiles telles que des rotors, des pales ou des vortex, qui aspirent le gaz par l'entrée, le compriment, puis le refoulent par la sortie, créant ainsi un environnement sous vide. Le processus spécifique peut être divisé en trois étapes suivantes :
Étape d'admission : Le gaz pénètre dans la chambre de la pompe par l'orifice d'admission (par exemple, 40 mm de diamètre). A ce moment, le rotor ou les pales bougent, augmentant le volume de la chambre et réduisant la pression interne.
Étape de compression : à mesure que les pièces mobiles continuent de tourner (par exemple, 1 470 tr/min), le gaz est comprimé jusqu'à la pression de refoulement (par exemple, 32 mbar de pression de vapeur d'eau).
Étape de décharge : Le gaz comprimé est déchargé par la vanne de décharge. Simultanément, le système de lubrification à l'huile (par exemple, type d'huile UL19) assure l'étanchéité et la dissipation thermique (température de fonctionnement de 12 à 40 degrés).